(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123318989.5 (22)申请日 2021.12.27 (73)专利权人 日月新半导体 （苏州） 有限公司 地址 215021 江苏省苏州市苏州工业园区 苏虹西路18 8号 (72)发明人 周猛　张生　 (74)专利代理 机构 北京律盟知识产权代理有限 责任公司 1 1287 专利代理师 林斯凯 (51)Int.Cl. B08B 1/04(2006.01) B08B 1/00(2006.01) B24B 9/00(2006.01) (54)实用新型名称 集成电路清洁装置 (57)摘要 本揭露是关于集 成电路清洁装置， 其用于清 洁集成电路产品。 根据本申请一实施例的集成电 路清洁装置可包括第一组件、 传动组件及动力组 件。 传动组件可经配置以带动第一组件转动。 动 力组件可经配置以带动 传动组件转动。 本揭露提 供的集成电路清洁装置能够高效地清除集成电 路产品表面的毛刺且达 到良好的清洁 效果。 权利要求书1页 说明书5页 附图7页 CN 217120989 U 2022.08.05 CN 217120989 U 1.一种集成电路清洁装置， 其用于清洁集成电路产品， 其特 征在于， 其包括： 第一组件； 传动组件， 其经配置以带动所述第一组件转动； 及 动力组件， 其经配置以带动所述传动组件转动， 其中所述第一组件经配置以位于待处 理的所述 集成电路产品的表面的下 方。 2.根据权利要求1所述的集成电路清洁装置， 其特征在于， 所述集成电路清洁装置还包 括用于接触所述 集成电路产品的表面的清洁组件。 3.根据权利要求2所述的集成电路清洁装置， 其特征在于， 所述清洁组件以可拆卸的方 式固定至所述第一组件。 4.根据权利要求1所述的集成电路清洁装置， 其特征在于， 所述传动组件包括第一轴 承， 且所述第一组件经配置以连接 至所述第一轴承。 5.根据权利要求4所述的集成电路清洁装置， 其特征在于， 所述传动组件包括第一齿 轮， 所述第一齿轮安装于所述第一轴承上。 6.根据权利要求5所述的集成电路清洁装置， 其特征在于， 所述传动组件还包括第 二轴 承， 且所述动力组件经配置以连接 至所述第二轴承。 7.根据权利要求6所述的集成电路清洁装置， 其特征在于， 所述传动组件还包括第 二齿 轮， 所述第二齿轮安装于所述第二轴承上。 8.根据权利要求7所述的集成电路清洁装置， 其特征在于， 所述传动组件还包括与 所述 第一齿轮和所述第二齿轮连接的皮带轮。 9.根据权利要求6所述的集成电路清洁装置， 其特征在于， 其进一步包括经配置以固定 所述动力组件和所述传动组件的第二组件， 所述第一轴承和所述第二轴承固定于所述第二 组件。 10.根据权利要求9所述的集成电路清洁装置， 其特 征在于， 所述第二组件为钢板平台。 11.根据权利要求1所述的集成电路清洁装置， 其特 征在于， 所述动力组件是电动机 。 12.根据权利要求2所述的集成电路清洁装置， 其特征在于， 所述清洁组件可包括第一 元件及收容第一元件的第二元件， 且所述第二元件固定 至所述第一组件。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217120989 U 2集成电路清洁装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及集成电路技 术领域， 特别是 涉及一种集成电路清洁装置 。 背景技术 [0002]目前， 使用溅镀工艺在集成电路产品设置电磁屏蔽层时， 铜(Cu)或不锈钢(SUS)金 属原子处于高度激发的状态。 靶 材会难以避免地溢镀到集 成电路封装产品的引脚面。 通常， 使用胶带来保护引脚面。 然而， 在胶带 的移除过程中会形成不期望的毛刺。 因而， 业内亟需 解决如何有效地清除集成电路产品表面的毛刺的问题。 实用新型内容 [0003]本实用新型提供了一种集成电路清洁装置， 其能够有效地清除集成电路产品的表 面上的毛刺， 且达 到良好的清洁效果。 [0004]本实用新型的一实施例提供了一种集成电路清洁装置， 其用于清洁集成电路产 品， 其包括第一组件； 传动组件， 其经配置以带动第一组件转动； 及动力组件， 其经配置以带 动传动组件转动。 [0005]在本申请的另一实施例中， 第一组件经配置以位于待处理的集成电路产品的表面 的下方。 [0006]在本申请的又一实施例中， 集成电路清洁装置还包括用于接触集成电路产品的表 面的清洁组件。 [0007]在本申请的另一实施例中， 清洁组件以可拆卸的方式 固定至第一组件。 [0008]在本申请的又一实施例中， 传动组件包括第一轴承， 且第一组件经配置以连接至 第一轴承。 [0009]在本申请的另一实施例中， 传动组件包括第一齿轮， 该第一齿轮安装于第一轴承 上。 [0010]在本申请的又一实施例中， 传动组件还包括二轴承， 且动力组件经配置以连接至 第二轴承。 [0011]在本申请的另一实施例中， 传动组件还包括第二齿轮， 该第二齿轮安装于第二轴 承上。 [0012]在本申请的又一实施例中， 传动组件还包括与第一齿轮和第二齿轮连接的皮带 轮。 [0013]在本申请的另一实施例中， 其进一步包括经配置以固定动力组件和传动组件的第 二组件， 第一轴承和第二轴承固定 于第二组件。 [0014]在本申请的又一实施例中， 第二组件为钢板平台。 [0015]在本申请的另一实施例中， 动力组件是电动机 。 [0016]在本申请的又一实施例中， 清洁组件可包括第一元件及收容第一元件的第二元 件， 且第二元件固定 至第一组件。说　明　书 1/5 页 3 CN 217120989 U 3