ICS31.160 L21 中华人民共和国国家标准 GB/T32988—2016 人造石英光学低通滤波器晶片 Syntheticquartzcrystalwaferforopticallowpassfilter(OLPF) 2016-10-13发布 2017-09-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布 目 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 分级 3 ……………………………………………………………………………………………………… 5 要求 4 ……………………………………………………………………………………………………… 5.1 晶片 4 ………………………………………………………………………………………………… 5.2 尺寸与角度 4 ………………………………………………………………………………………… 5.3 晶片表面疵病 5 ……………………………………………………………………………………… 5.4 晶片的面形偏差 6 …………………………………………………………………………………… 6 测试方法 6 ………………………………………………………………………………………………… 6.1 包裹体和裂纹 6 ……………………………………………………………………………………… 6.2 条纹 6 ………………………………………………………………………………………………… 6.3 尺寸 6 ………………………………………………………………………………………………… 6.4 切向和角度偏差 6 …………………………………………………………………………………… 6.5 倒角和倒边 6 ………………………………………………………………………………………… 6.6 垂直度 7 ……………………………………………………………………………………………… 6.7 TV5 7 ………………………………………………………………………………………………… 6.8 表面疵病 7 …………………………………………………………………………………………… 6.9 面形偏差 7 …………………………………………………………………………………………… 7 检验规则 8 ………………………………………………………………………………………………… 7.1 抽样方案 8 …………………………………………………………………………………………… 7.2 判定规则 8 …………………………………………………………………………………………… 7.3 型式检验 8 …………………………………………………………………………………………… 8 包装、标识、交货条件 8 …………………………………………………………………………………… 8.1 包装 8 ………………………………………………………………………………………………… 8.2 标识 8 ………………………………………………………………………………………………… 8.3 交货条件 8 …………………………………………………………………………………………… 参考文献 9 ……………………………………………………………………………………………………… ⅠGB/T32988—2016 前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国人工晶体标准化技术委员会(SAC/TC461)归口。 本标准起草单位:烁光特晶科技有限公司、浙江水晶光电科技股份有限公司。 本标准主要起草人:张绍锋、张璇、孙志文、王保新、尚继武、邱欢、华大辰。 ⅢGB/T32988—2016 人造石英光学低通滤波器晶片 1 范围 本标准规定了人造石英光学低通滤波器晶片术语和定义、分级、要求、测试方法、检验规则及包装、 标识、交货条件。 本标准适用于人造石英光学低通滤波器晶片。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T1185 光学零件表面疵病 GB/T2828.1—2012 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验 抽 样计划(ISO2859-1:1999) GB/T2831 光学零件的面形偏差 GB/T6618—2009 硅片厚度和总厚度变化测试方法 GB/T7895 人造光学石英晶体 GB/T7896—2008 人造光学石英晶体试验方法 3 术语和定义 GB/T7895、GB/T1185和GB/T2831界定的以及下列术语和定义适用于本文件。为了便于使 用,以下重复列出了上述某些术语和定义。 3.1 光学低通滤波器晶片 opticallow-passfilterwafer;OLPFwafer 用石英晶体等材料制作,其单片或多片组合并镀膜后,让某一频率以下的光信号分量通过,而抑制 该频率以上的光信号分量的光学基片。 3.2 有效区域 fixedqualityarea;FQA 去除晶片边缘特定距离X的晶体表面中心区域。参考图1虚线所包含的区域。 注:FQA的边界通常指与晶片的边缘(包括基准边)相距X的所有点。 [IEC62276—2005,定义3.7.1] 3.3 包裹体 inclusions 将晶体浸在折射率匹配液中,由光源的散射光来观测人造石英晶体中可见的外来物质。最普遍的 包裹体为锥辉石。 [GB/T7895—2008,定义3.6] 3.4 条纹 striae 人造石英晶体中,晶体局部区域因折射率发生变化观察到的线条状缺陷。 1GB/T32988—2016